Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

共聚焦輪廓儀專(zhuān)為測(cè)量光滑表面到極粗糙表面而開(kāi)發(fā)。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達(dá) 0.15μm 線(xiàn)條和空間，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。

背景

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 共聚焦技術(shù)

共聚焦技術(shù)能夠測(cè)量表面高度，將常規(guī)圖像轉(zhuǎn)換成光學(xué)剖面，其中，物鏡焦深范圍內(nèi)的那些區(qū)域的信號(hào)被保留，改善了圖像對(duì)比度、橫向分辨率和系統(tǒng)噪聲。

光學(xué)方案

對(duì)于 3D 成像，必須從相機(jī)的所有像素獲取數(shù)據(jù)。這意味著：重新構(gòu)建共聚焦圖像。為此，多狹縫圖像偏移一個(gè)像素，達(dá)到必要的次數(shù)，以填充相機(jī)。多狹縫每偏移一次，拍一張相機(jī)圖像，對(duì)那一刻照亮的像素應(yīng)用共聚焦算法。

SENSOFAR 技術(shù)

光學(xué)結(jié)構(gòu)中沒(méi)有運(yùn)動(dòng)零件

       Sensofar 系統(tǒng)中實(shí)施的共聚焦掃描技術(shù)是微顯示器掃描共聚焦顯微鏡（根據(jù) ISO 25178 第 607 部分）。微顯示器創(chuàng)造了一個(gè)沒(méi)有運(yùn)動(dòng)零件的快速切換裝置，使得數(shù)據(jù)采集快速、可靠和準(zhǔn)確。由于這一點(diǎn)和相關(guān)的算法，Sensofar 的共聚焦技術(shù)產(chǎn)生了優(yōu)異的垂直分辨率。

專(zhuān)屬算法

不要現(xiàn)在阻止我！ 連續(xù)共聚焦

       共聚焦測(cè)量技術(shù)中革命性的一步，將采集時(shí)間穩(wěn)步減少 3 倍。連續(xù)共聚焦模式通過(guò)同時(shí)掃描面內(nèi)和 Z 軸，避免了經(jīng)典共聚焦的離散（耗時(shí)）面與面采集。對(duì)于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時(shí)間至關(guān)重要。

主要特征

       共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達(dá) 0.15μm 線(xiàn)條和空間，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高 HA (0.95) 和放大倍率 (150X) 的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過(guò) 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，最高可允許 86°。

       更佳的橫向分辨率： 300 nm（Rayleigh準(zhǔn)則）

       斜率高達(dá) 70o（光滑表面） 和 86o（粗糙表面）

       連續(xù)共聚焦：速度堪比AiFV

       高重復(fù)性，低至 1 nm 的系統(tǒng)噪聲

       從 1.5 μm 到數(shù)毫米的厚度測(cè)量

       更高程度的靈活性

共聚焦系統(tǒng)